简介：

产品详情

产地：美国

型号：MProbe;

 

通过光反射干涉的原理测量薄膜的厚度是一种快速、无损、精确、且可同时测量多层薄膜厚度的薄膜厚度测量技术。我司的该款光学薄膜测厚仪是一款价格低廉、功能强大的膜厚测量仪器。该产品的全球销量超过了200台。

根据型号不同，测量范围可以从1nm到1000um。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜；也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。

 

应用领域：

- 非晶多晶硅；

- 多孔硅；

- 硅晶圆薄膜；

- CMP;

- 电介质；

- 玻璃和塑料厚度；

- 硬质涂层厚度；

- IC故障分析；

- 铟锡氧化物与透明导电薄膜；

- 金属厚度测量；

- Oled；

- 光刻胶；

- 制程薄膜；

- 折射率，消光系数；

- 光伏太阳能电池；

- 卷式涂层；

- 半导体教学实验；

等等…

 

技术规格特点：

- 波长范围：200nm~1700nm；

- 膜厚范围：1nm~1mm；

- 光斑尺寸：3mm~3um；

- 精度：<0.01nm或0.01%；

- 准确度：<0.2%或1nm；

- 稳定性：<0.02nm或0.03%；

- 实时测量：厚度，吸收系数，折射率，粗糙度等；

- 开放的数据库：超过500种材料，新材料可添加；

- 灵活性：台式离线测量，原位测量，在线测量；

等等...

 

参考用户：

北京科技大学、上海交通大学、香港城市大学等.