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半导体测试设备

简介:

开尔文探针

产品详情

产地:英国

型号:SKP5050, KP020, UHVKP020;

 

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置,用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定,所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。

 

技术规格:

SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统,它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:

探针直径:2毫米,50微米(其他尺寸可选配)

功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)5-10 meV(50微米针尖)

针尖到样品表面工作距离:~400纳米;

表面势和样品形貌3维地图;

探针扫描或样品扫描选配;

彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;

参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)

备用的针尖放大器;

 

仪器特点:

全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统;

最高分辨率的功函数和表面势,最好的稳定性和数据重现性;

非零专利技术(Off-Null)  信号探测系统在高信号水平下工作,与基于零信号原理(Null-based, LIA)的系统相比,不会收到噪声的影响拥有高灵敏度;

高度调节专利技术 — 我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响,针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移;

该领域内,拥有最好的信噪比;

快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间,远快于其他公司产品;

功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器,与通常的压电驱动器相比,VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作;

所有开尔文探针参数的全数字控制;

 

参考用户:

吉林大学,大连理工大学,哈工大,复旦大学,浙江大学,合肥工大,华中科大,湖南大学,华南理工大学,香港科技大学,中科院理化所,中科院纳米中心,中国工程物理研究院等…

 

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