简介：

德国 ZEISS EVO 系列

模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用

EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起， 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借广泛的可选配置， EVO 都可以根据您的要求量身定制。

• 显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案

• 不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品

• 使用LaB₆灯丝，能够得到优异的图像质量

• 对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色

• 可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求

  
  
  

• 显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案

• 不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品

• 使用LaB₆灯丝，能够得到优异的图像质量

• 对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色

• 可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求

优势

 

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学，大大减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。

 

优异的图像质量

EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态，维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB₆灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。

 

EVO 能够与其它设备相关联

EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与德国ZEISS光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。

 

适合更多用户操作

对于经验丰富的以及新手用户操作都很方便

在实际的实验室环境中，SEM 的操作通常是显微镜专家的专属领域。但是对于非专家级用户来说，操作SEM就变得具有挑战，比如学生、受训者或质量工程师，他们往往也需要从 SEM获取数据。 EVO 则同时考虑了这两类用户的需求，用户界面选项既能满足有经验的显微镜专家也能满足非专业用户的操作需要。

专家用户

优选用户界面: SmartSEM

专家用户可以获取以及设定高级的成像参数和分析功能。

 

SmartSEM: 为有经验用户使用的控制界面

新手用户

优选用户界面: SmartSEM Touch

新手用户可以使用预定义的工作流程和常用的一些参数-非常适合初学者。

 

SmartSEM Touch: 是一款在触摸屏电脑上运行的简化图形用户界面

 

智能导航与成像

大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出

 

德国ZEISS导航相机

相机可以安装在仓室前方， 以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机)；或安装在真空室仓门上方 (导航相机)， 利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置， 并在整个样品测试过程中轻松导航。

 

自动化智能成像

EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。德国ZEISS自动化智能成像非常适合例行检测。它使用户能够自定义边界区域，自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域，并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。

将您的研究提升一个层次

使用六硼化镧电子发射器能够获得更好的图像

六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证您额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面:

• 在相等电子探针尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探针电流可供使用， 从而使图像导航和优化更容易
• 在相等的探针电流 (信噪比) 下， 光斑直径要小得多， 从而提高了图像分辨率

低加速电压下高放大倍率的催化剂粒子 (左: 使用钨灯丝， 右: 使用LaB₆灯丝)
当在具有挑战性的成像条件下， 使用LaB₆灯丝的用户将有高达10倍的光束亮度， 从而提高了图像分辨率和对比度。

EVO 能够与其它设备相关联

工作流程自动化和关联显微镜的好处

 

Shuttle & Find 将EVO、光学显微镜和数码显微镜组成一个关联的、多模态工作流程

 

由于德国ZEISS是各种类型显微镜和计量系统的优秀供应商， 所以您还可以将EVO 与德国ZEISS其它解决方案相结合，使其功能能够发挥得更好。

通过使用Shuttle & Find（德国ZEISS关联显微镜的软硬件部分），您可以在（数码）光学显微镜和 EVO 之间建立一个高效的多模式联用的工作流程。将光学显微镜独特的光学对比方法与同样独特的扫描电镜成像和分析方法相结合， 获得互补的数据， 从而更清楚地去了解样品的材料、质量或失效机理。

德国ZEISS SmartEDX

用于常规SEM显微分析应用的一体化EDS解决方案

如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就会借助能谱仪（EDS）来采集元素化学成份的空间分布信息。

 

• 针对常规显微分析应用进行了优化

   

  SEM和EDS的搭配使用必须经过谨慎细致的考量。EVO上的SmartEDX非常适用于常规显微分析应用，尤其对于数据重复性要求高的客户而言更是理想的选择。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探头电流（典型的EVO工作条件）下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的优异透过率, SmartEDX更适合于探测到来自轻元素的低能X射线。

   

• 工作流程引导的图形用户界面

   

  SmartEDX旨在提高多用户环境中的易用性和工作流程重复性。与其他德国ZEISS工作流程引导的软件解决方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一样，SmartEDX软件易于学习，使用直观，并有助于确保在SEM上执行分析任务的重复性，尤其是在多个操作者使用该系统的环境中。

 

 

• 全方位的德国ZEISS服务和系统支持
  
  SmartEDX由德国ZEISS提供全方位支持，因此该EDS解决方案非常适合那些希望精简分析设备供应商数量的客户。所有安装、预防性维护、保修、诊断和维修、备件物流以及整个系统服务合同中的内容均由德国ZEISS全面负责，为您的SEM分析解决方案提供一站式的的支持。

 EVO 系列

真空室尺寸选择

	德国ZEISSEVO 10	德国ZEISSEVO 15	德国ZEISSEVO 25
	选择 EVO 10（可选配BSD和EDS）是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。即使这个EVO真空室很小，它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。	EVO 15 充分展示了 EVO 家族的灵活性概念， 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室， 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式， 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案。	EVO25 是工业的主力解决方案， 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能， 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外， 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。
最大样品高度	100 mm	145 mm	210 mm
最大样品直径	230 mm	250 mm	300 mm
电动载物台行程XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (或 80) mm
高真空模式 (HV)  导电样品质量的成像与分析		·	·
可变压力模式 (VP)  不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析	·	·	·
扩展压力模式 (EP)  含水或被污染的样品在其自然状态下成像	·	·	·

德国ZEISS  EVO 应用案例

应用实例

生产与装配企业

• 质量分析/质量控制

• 失效分析/金相分析

• 清洁度检查

• 颗粒的形态和化学分析， 以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准

• 非金属夹杂物的分析

锌磷酸盐电涂层， 高真空模式下使用 SE 探测器成像

汽车座椅垫泡沫， 可变真空模式下使用BSE探测器成像，样品未喷涂导电层

不锈钢断口表面， 高真空模式二次电子成像

电子半导体

• 目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池

• 铜丝表面及晶体结构的研究

• 金属腐蚀研究     

• 断面失效分析

• Wire bonding线脚检查

• 电容表面成像

Wire bond检查，在高真空或可变真空模式下用二次电子成像

镍层腐蚀的二次电子成像

二次电子图像观察的在电子产品上生长的晶须

钢铁和其它金属

• 对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析

• 相、颗粒、焊缝和失效分析

镀锌低碳钢的剖面， 使用 EVO 15 上的二次电子探测器进行成像

用F80砂砾铝粉喷砂后的S355钢表面

采用选择性激光熔化的方法制备的钛合金 (Ti-6Al-4V)的表面， 能够看出充分熔化区域的旁边有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料

原材料

• 地质样品的形态、矿物学和成分分析

• 对金属、断裂和非金属夹杂物的结构进行成像和分析

• 微粉化和造粒过程中原料化学成分和活性成份的形态和成分分析

蓝片岩矿物图，样品由S. Owen 提供

赞比亚大型铜冶炼厂剩余的铜渣颗粒，样品由英国 Petrolab 提供

加拿大魁北克北部的花岗岩， 含有稀土元素， 包括贯穿样品的萤石脉和部分区域的锆石

材料科学研究

• 用于研究导电和不导电材料样品的特征

  自愈合矿物的扩展和裂纹架桥网络， 形成了类似花状的水镁矿结构，在12kV下使用二次电子探测器成像

  电池组件中的石墨烯泡沫结构， 在高真空下使用 二次电子探测器成像

  航空航天复合材料，在10 kV可变压力模式下使用 C2D 探测器成像

生命科学

• 对植物、动物和微生物的研究

  叶子表面发霉的伪色图像。在20kV， 1°C /570Pa水蒸气条件下使用 C2DX 探测器成像

伪蝎的细节特征， 在 20 kV高真空模式下使用BSE成像 在接近100% 相对湿度下， 在扩展压力模式使用 C2DX 探测器成像的树花粉

司法鉴定

• 枪击残留物（GSR）

• 油漆和玻璃分析

• 钞票和硬币伪造

• 头发和纤维比较

• 法医毒理学

  在钨碎片上固化的熔融玻璃表明在事故发生时灯泡处于活动状态

  C2D 探测器在可变压力模式下对不导电样品的优异成像， 非常适合用于法医纤维的比较

  枪支套管上的撞针的标记可以用来帮助识别所使用的武器