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简介:
全自动椭偏检测机台
产品概述
颐光科技全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台,通过整体高度模块化,电、气路集成技术,实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。
特色功能
。支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术
。支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告
。支持多椭偏方案,多组合集成
。支持测头模块以及样件机台定制化
应用场景
应用于科学研究中各种各向同性,异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征;工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜(配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜)全片离线化快速扫描测量。
参考设计方案
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高度整合椭偏技术方案 |
集成椭偏仪规格:
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